三星去年10月份就宣布7nm EUV工艺量产，已经完成了整套7nm EUV工艺的技术流程开发以及产线部署，进入了可量产阶段。三星表示7nm LPP工艺可以减少20%的光学掩模流程，整个制造过程更加简单了，节省了时间和金钱，又可以实现40%面积能效提升、性能增加20%、功耗降低50%目标。

不过三星那次宣布的7nm EUV量产名不副实，当时的生产线只有韩国华城S3 Line，那里部署了ASML的NXE3400 EUV光刻机，不过该产线之前是生产10nm工艺，这次属于技术改造。

三星真正量产7nm EUV工艺还需要新的生产线，在韩国华城建设全新的生产线就是专为7nm EUV量产准备的，计划在2019年底全面完工，7nm EUV大规模量产在2020年底前实现。结合三星物产最近的报告，这意味着三星7nm EUV工厂的基础设施建设工作现在已经完成了，剩下的时间就要装设备、调试生产线了。

这也是三星Exynos 9820处理器没使用7nm EUV工艺而是自家8nm LPP工艺的原因，因为7nm EUV工艺根本来不及量产，这也让Exynos 9820成为三大旗舰处理器中工艺最弱的一款。